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快速退火工藝（二）
點擊量：1221 日期：2023-11-17 編輯：硅時代
鹵素燈管退火（Halogen Lamp Annealing）是一種用燈管作為熱源的退火方式，其特點如下：
高溫：鹵素燈管退火的溫度可以達到1300攝氏度以上，可以快速將材料加熱到所需溫度。
非接觸性：鹵素燈管退火可以在不接觸晶圓的情況下進行，減少了對晶圓的污染風險。
快速加熱速率：鹵素燈管退火的加熱速度較快，通?？梢栽趲酌腌妰?nèi)完成退火過程，節(jié)約了大量的時間。
均勻性：鹵素燈管退火具有很好的溫度均勻性，可以使材料整體均勻受熱，減少熱應力和溫度差異帶來的效應。
可控性：鹵素燈管退火可以通過控制燈管的功率和時間來控制溫度和退火時間，可以根據(jù)需要對不同材料進行精確的退火處理。
適用性廣：鹵素燈管退火可以適用于多種材料，包括金屬、陶瓷、玻璃等，廣泛應用于電子、光學、化工等領域。
環(huán)保節(jié)能：鹵素燈管退火過程中無需使用外部介質(zhì)，不會產(chǎn)生廢氣、廢水和廢渣，以及減少能源消耗。
根據(jù)不同用途可選擇不同的退火方式，考慮到成本和安全性等因素，鹵素燈管成為如今最為廣泛的快速退火方式之一，鹵素燈管退火具有快速、均勻、可控的特點，可以滿足不同材料的退火需求，是一種常用的熱處理方法。
隨著集成電路的發(fā)展，人們對退火材料的性能要求越來越高,常規(guī)的熱退火方法難以滿足這搬要求。因為它難以完全消除缺陷。同時，在熱退火期間，整個晶片（包括注射層和基底）它們都必須經(jīng)過高溫處理，這增加了表面污染，特別是長時間高溫熱退火導致明顯的雜質(zhì)再分布。為了使產(chǎn)品獲得更強的性能，人們不斷在退火爐行業(yè)發(fā)展進步。從而退火爐的功能也越來越強大。
